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    Titel :

    Application of inclined-exposure and thick film process for high aspect-ratio micro-structures on polymer optic devices


    Beteiligte:
    Hung, K. Y. (Autor:in) / Liang, T. H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 9-11 ; 1217-1222


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




    Thick high aspect ratio wing, part 2

    Erickson, L. L. / Gambucci, B. J. / Wilcox, P. R. | NTRS | 1971


    Developing new markets for high aspect ratio micro-machined devices

    Skardon, J. / Vandenberg, M. | British Library Online Contents | 1998


    High aspect ratio electrostatic micro actuators using LIGA process

    Kondo, R. / Takimoto, S. / Suzuki, K. et al. | British Library Online Contents | 2000


    SIGA: A New High Aspect Ratio Micro System Process

    Gmur, M. / Dommann, A. / Rothuizen, H. et al. | British Library Conference Proceedings | 1999