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    Titel :

    High aspect ratio metal micro and nano pillars for minimal footprint MEMS suspension


    Beteiligte:
    Greiner, F. (Autor:in) / Schlaak, H. F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 19 , 3 ; 425-431


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




    Metrology of high aspect ratio MEMS

    Nichols, J. F. / Kurfess, T. R. | British Library Online Contents | 2004


    MEMS cantilever sensor for non-destructive metrology within high-aspect-ratio micro holes

    Peiner, E. / Doering, L. | British Library Online Contents | 2010


    Low g Inertial Sensor based on High Aspect Ratio MEMS

    Reze, M. / Hammond, J. | British Library Conference Proceedings | 2005