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    Titel :

    MEMS cantilever sensor for non-destructive metrology within high-aspect-ratio micro holes


    Beteiligte:
    Peiner, E. (Autor:in) / Doering, L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 7 ; 1259-1268


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Metrology of high aspect ratio MEMS

    Nichols, J. F. / Kurfess, T. R. | British Library Online Contents | 2004


    Dimensional measurement of high aspect ratio micro structures with a resonating micro cantilever probe

    Yamamoto, M. / Takeuchi, H. / Aoki, S. | British Library Online Contents | 2000


    Silicon cantilever sensor for micro-/nanoscale dimension and force metrology

    Peiner, E. / Doering, L. / Balke, M. et al. | British Library Online Contents | 2008


    Low g Inertial Sensor based on High Aspect Ratio MEMS

    Reze, M. / Hammond, J. | British Library Conference Proceedings | 2005


    Fabrication of a ZnO piezoelectric micro cantilever with a high-aspect-ratio nano tip

    Lee, S. H. / Lee, S. S. / Choi, J. J. et al. | British Library Online Contents | 2005