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    Titel :

    Low g Inertial Sensor based on High Aspect Ratio MEMS


    Beteiligte:

    Kongress:

    ANNUAL INTERNATIONAL FORUM, Advanced microsystems for automotive applications ; 2005 ; Berlin



    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    14 pages


    Anmerkungen:

    ALSO KNOWN AS AMAA 2005



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch





    Metrology of high aspect ratio MEMS

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    Peiner, E. / Doering, L. | British Library Online Contents | 2010