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    Titel :

    A vibrating micro-scale CMM probe for measuring high aspect ratio structures


    Beteiligte:
    Claverley, J. D. (Autor:in) / Leach, R. K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 8-9 ; 1507-1512


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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