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    Titel :

    Comparison of PMMA and SU-8 resist moulds for embossing of PZT to produce high-aspect-ratio microstructures using LIGA process


    Beteiligte:
    Schneider, A. (Autor:in) / Su, B. (Autor:in) / Button, T. W. (Autor:in) / Singleton, L. (Autor:in) / Wilhelmi, O. (Autor:in) / Huq, S. E. (Autor:in) / Prewett, P. D. (Autor:in) / Lawes, R. A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2002


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Hot embossing of polymer nanochannels using PMMA moulds

    Liu, J. / Jin, X. / Sun, T. et al. | British Library Online Contents | 2013


    Ultraviolet embossing for patterning high aspect ratio polymeric microstructures

    Chan-Park, M. B. / Neo, W. K. | British Library Online Contents | 2003



    SOI wafer mold with high-aspect-ratio microstructures for hot embossing process

    Zhao, Y. / Cui, T. | British Library Online Contents | 2004


    High aspect ratio electrostatic micro actuators using LIGA process

    Kondo, R. / Takimoto, S. / Suzuki, K. et al. | British Library Online Contents | 2000