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    Titel :

    Linewidth design rules for microstructures manufactured in PMMA resist using X-ray LIGA


    Beteiligte:
    Lawes, R. A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 3 ; 411-421


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    11 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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