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    Micro-Mirror-Arrays (MMA) zur Auflösungserhöhung von Oberflächenformvermessungen

    Werth, Nadine / Koch, Alexander W. | IuD Bahn | 2009
    Keywords: Mikrostruktur

    Makyoh-Imaging zur Charakterisierung reflektierender Oberflächen

    Finck, Alexander von / Duparré, Angela / Pfeffer, Michael | IuD Bahn | 2009
    Keywords: Mikrostruktur

    Messgerätebau - Entwicklung und Fertigung von Präzisionsmessgeräten und Normalen

    Löffler, Frank | IuD Bahn | 2009
    Keywords: Mikrostruktur

    Herstellung und Charakterisierung eines extrinsischen faseroptischen Elementarsensors zur Temperaturmessung

    Trautner, Ralph / Schmauß, Bernhard / Shamonin, Mikhail | IuD Bahn | 2008
    Keywords: Mikrostruktur

    Erfassung von Standardgeometrieelementen im Mikrometerbereich

    Herausforderungen und Lösungsansätze
    Fleischer, Jürgen | IuD Bahn | 2008
    Keywords: Mikrostruktur

    Messstrategien für die zerstörungsfreie Schichtmessung mittels Ultraschallmikroskopie

    Schmitt, Robert | IuD Bahn | 2008
    Keywords: Mikrostruktur

      Messstrategien für die zerstörungsfreie Schichtmessung mittels Ultraschallmikroskopie

      Schmitt, Robert / Hafner, Philip / Engelmann, Bastian | IuD Bahn | 2007
      Keywords: Mikrostruktur

    Praxisgerechte Messunsicherheitsermittlung bei Messungen mit dem Weißlichtinterferometer

    Tan, Özgür / Hoffmann, Jörg | IuD Bahn | 2008
    Keywords: Mikrostruktur

    Interferometric displacement measurement for local probe microscopy

    Lazar, Josef | IuD Bahn | 2009
    Keywords: Mikrostruktur

    Mikrokoordinatenmesstechnik mit elektrischer Werkstückantastung

    Robust, flexibel und praxisgerecht
    Schuler, Alexander / Weckenmann, Albert / Hoffmann, Jörg | IuD Bahn | 2009
    Keywords: Mikrostruktur

    Energieversorgung von energieautarken Sensoren

    Hahn, Robert | IuD Bahn | 2007
    Keywords: Mikrostruktur

    Evaluierung optischer Messmethoden am Beispiel mikromechanischer Bauelemente

    Kunz, Ulrich / Müller-Fiedler, Roland | IuD Bahn | 2006
    Keywords: Mikrostruktur

    Materials, Bearings and Lubricants for Nanopositioning

    Liu, Yonghe / Schaefer, Juergen A. / Jäger, Gerd | IuD Bahn | 2006
    Keywords: Mikrostruktur

    Modellierung optischer Messprozesse

    Untersuchung der Interferenzmiskroskopie mittels Simulationen
    Schmitt, Robert / Koerfer, Friedel / Bichmann, Stephan | IuD Bahn | 2008
    Keywords: Mikrostruktur

    Bildverarbeitung und Simulation in der statistisch optischen Oberflächenmesstechnik

    Patzelt, Stefan | IuD Bahn | 2008
    Keywords: Mikrostruktur

    Anwendungspotenzial integrierter Dünnschichtresonatoren in flüssigen und gasförmigen Medien

    Schreiter, Matthia / Link, Mathia / Weber, Jan | IuD Bahn | 2008
    Keywords: Mikrostruktur

    Anforderungen an die zukünftige Mikro- und Nanomesstechnik - Herausforderungen und Vorgehensweisen

    Weckenmann, A. / Ernst, R. | IuD Bahn | 2000
    Keywords: Mikrostruktur

    50 Jahre Entdeckung des piezoresistiven Effekts - Geschichte und Entwicklung piezoresistiver Sensoren

    Gerlach, Gerald / Werthschützky, Roland | IuD Bahn | 2005
    Keywords: Mikrostruktur

    Nanopositioniertechnik für große Bewegungsbereiche

    Hesse, Steffen / Schäffel, Christoph | IuD Bahn | 2006
    Keywords: Mikrostruktur

    Die Ankopplung verschiedenartiger Detektionssysteme für dimensionelle Messungen im Mikro- und Nanometerbereich an die Nanomessmaschine

    Dai, Gaoliang / Pohlenz, Frank / Danzebrink, Hans-Ulrich | IuD Bahn | 2006
    Keywords: Mikrostruktur