Für die Qualitätssicherung der Produktion von Mikrobauteilen und Elementen im Nano- und Mikrometerbereich sind genaue und vor allem standardisiert kalibrierbare Messverfahren erforderlich. Zur Steuerung der Fertigungsprozesse sind laufend sowohl absolute Messaussagen als auch die Vergleichsgenauigkeit der Werkstücke gegenüber Referenzmaßen unter Berücksichtigung der jeweiligen Wirkfunktion zu ermitteln. Für Bewertung und Vergleich verschiedener Messverfahren werden zwei Messaufgaben der Bestimmung geometrischer Strukturen im Mikrometerbereich exemplarisch im Ringvergleich jeweils mit verschiedenen Messmethoden gelöst. Es kommen taktile, optische und computertomografische Messgeräte zum Einsatz. Es werden die Messungenauigkeiten sowie deren Einflussgrößen untersucht und in Abhängigkeit zu Wirkfunktion und Formfaktoren der Messobjekte gesetzt. Formfaktoren der Messobjekte sind bei der Wahl der Messstrategie zu berücksichtigen. Angaben zur Messstrategie müssen bei der Beschreibung der Messunsicherheit berücksichtigt werden.
Erfassung von Standardgeometrieelementen im Mikrometerbereich
Herausforderungen und Lösungsansätze
Characterization of standard-geometry micro structure
tm - Technisches Messen ; 75 , 5 ; 327-338
2008-01-01
12 pages
Article (Journal)
German
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