Es wird über neue Fortschritte in der Erforschung der Mikroakustik-Sensortechnik berichtet. Dünnschichtresonatoren werden zur Ermittlung von Eigenschaften flüssiger und gasförmiger Medien eingesetzt. Aus Dünnfilm-Akustik-Sensoren (film bulk acoustic resonator - FBAR) können Arrays aus vielen Resonatoren gebildet werden, die dadurch komplexe Messaufgaben erfüllen können. Durch die Realisierung in Mikrostruktur können auch kleinste Mengen des Messmediums ausgewertet werden, was mit herkömmlicher Technologie aufgrund der Viskosität und Oberflächenspannung der Flüssigkeiten oft nicht möglich ist. Es werden verschiedene Einsatzmöglichkeiten, z.B. zur Viskositätsmessung, mechanischen Spannungsmessung, Ermittlung von Biomolekülen oder als Mikroflüssigkeitsmischer beschrieben. Darüber hinaus sind durch die Arraytechnik Sensorkombinationen auf ein und derselben Plattform realisierbar.


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    Title :

    Anwendungspotenzial integrierter Dünnschichtresonatoren in flüssigen und gasförmigen Medien


    Additional title:

    Application potential of integrated thin film resonators in liquid and gaseous media



    Published in:

    tm - Technisches Messen ; 75 , 2 ; 120-128


    Publication date :

    2008-01-01


    Size :

    9 pages



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German





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