Der große Vorteil von mikrobearbeiteten Sensoren ist deren Miniaturisierung. Es handelt sich dabei im wesentlichen um Drucksensoren, Temperatursensoren, und Beschleunigungssensoren für die verschiedensten Anwendungen im Fahrzeug. Zwei Bearbeitungsmethoden, auf der Chipoberfläche oder direkt im Material, werden dargestellt. Beispiele für ausgeführte Sensoren werden an beispielhaften Produkten amerikanischer Hersteller gezeigt.
Micromachining improves automotive sensors
Mikrobearbeitung verbessert die Qualität von Sensoren für die Kraftfahrzeugtechnik
Electronic Design ; 44 , 3 ; 67-81
1996
7 Seiten, 4 Bilder
Article (Journal)
English
Sensors for Automotive Safely Systems in Surface Micromachining
British Library Conference Proceedings | 1998
|Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications
Automotive engineering | 1986
|Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications
SAE Technical Papers | 1986
|Sensors for Restraint Systems in Surface Micromachining Technology
British Library Conference Proceedings | 2000
|Bulk micromachining for sensors and actuators [4179-201]
British Library Conference Proceedings | 2000
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