Der große Vorteil von mikrobearbeiteten Sensoren ist deren Miniaturisierung. Es handelt sich dabei im wesentlichen um Drucksensoren, Temperatursensoren, und Beschleunigungssensoren für die verschiedensten Anwendungen im Fahrzeug. Zwei Bearbeitungsmethoden, auf der Chipoberfläche oder direkt im Material, werden dargestellt. Beispiele für ausgeführte Sensoren werden an beispielhaften Produkten amerikanischer Hersteller gezeigt.


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    Title :

    Micromachining improves automotive sensors


    Additional title:

    Mikrobearbeitung verbessert die Qualität von Sensoren für die Kraftfahrzeugtechnik


    Contributors:
    Meth, C. (author)

    Published in:

    Electronic Design ; 44 , 3 ; 67-81


    Publication date :

    1996


    Size :

    7 Seiten, 4 Bilder



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    English




    Sensors for Automotive Safely Systems in Surface Micromachining

    Ullmann, D. / Bischopink, G. / Maihoefer, B. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998


    Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications

    Lee,K.W. / Walker,B.E. / Allied Automotive,US et al. | Automotive engineering | 1986


    Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications

    Walker, B. E. / Lee, K. W. | SAE Technical Papers | 1986


    Sensors for Restraint Systems in Surface Micromachining Technology

    Ziemssen, K. | British Library Conference Proceedings | 2000


    Bulk micromachining for sensors and actuators [4179-201]

    Esashi, M. / International Society for Optical Engineering / Semiconductor Equipment and Materials International et al. | British Library Conference Proceedings | 2000