Der große Vorteil von mikrobearbeiteten Sensoren ist deren Miniaturisierung. Es handelt sich dabei im wesentlichen um Drucksensoren, Temperatursensoren, und Beschleunigungssensoren für die verschiedensten Anwendungen im Fahrzeug. Zwei Bearbeitungsmethoden, auf der Chipoberfläche oder direkt im Material, werden dargestellt. Beispiele für ausgeführte Sensoren werden an beispielhaften Produkten amerikanischer Hersteller gezeigt.
Micromachining improves automotive sensors
Mikrobearbeitung verbessert die Qualität von Sensoren für die Kraftfahrzeugtechnik
Electronic Design ; 44 , 3 ; 67-81
1996
7 Seiten, 4 Bilder
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
Sensors for Automotive Safely Systems in Surface Micromachining
British Library Conference Proceedings | 1998
|Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications
Kraftfahrwesen | 1986
|Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications
SAE Technical Papers | 1986
|Bulk micromachining for sensors and actuators [4179-201]
British Library Conference Proceedings | 2000
|Sensors for Restraint Systems in Surface Micromachining Technology
British Library Conference Proceedings | 2000
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