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    Titel :

    Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications


    Weitere Titelangaben:

    Silikon Mikrobearbeitungstechnologie zur Anwendung im Fahrzeugbau.



    Erscheinungsdatum :

    1986


    Format / Umfang :

    10 pages


    Anmerkungen:

    SAE-Paper;860470;1986;Sensors and Actuators;SAE Spec.Publ.; SP-655


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications

    Walker, B. E. / Lee, K. W. | SAE Technical Papers | 1986


    Yaw Rate Sensor in Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications

    Golderer, W. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998


    Yaw Rate Sensor in Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications

    Fetzer, G. / Golderer, W. / Gerstenmeier, J. et al. | British Library Conference Proceedings | 1998


    Micromachining improves automotive sensors

    Meth, C. | Tema Archiv | 1996


    Micromachining Of Silicon

    Dickman, John E. | NTRS | 1988