Kapazitive mikromechanische Beschleunigungssensoren haben recht deutliche Wettbewerbsvorteile in technisch anspruchsvollen Anwendungen wie beispielsweise in der Kraftfahrzeugindustrie. Diese Sensoren sind seit einigen Jahren in Serienproduktion, und ihre Technik hat sehr gute Aussichten für die Zukunft. Hauptanwendungen dieser Beschleunigungssensoren im Kraftfahrzeug sind in den neunziger Jahren Airbag, fortgeschrittene Antiblockier- und Antischlupf-Regelungssysteme (ABS bzw. ASR) sowie aktive Fahrwerksysteme. In allen diesen Systemen ist der Beschleunigungssensor in der Regel ein Bauteil mit großer Sicherheitsverantwortung, was besondere Anforderungen an seine Zuverlässigkeit stellt.
Kapazitive mikromechanische Beschleunigungssensoren für Kfz
Capacitive micromechanical sensors for acceleration measurment of cars
Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik ; 9 , 3 ; 14-16
1995
3 Seiten, 2 Bilder
Article (Journal)
German
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