Vorgestellt wird der für die Automobilelektronik konzipierte Beschleunigungsaufnehmer MMDS40G. Er besteht aus einem im gemeinsamen Gehäuse integrierten kapazitiven Sensor und einem kundenspezifischen Schaltkreis zur Signalaufbereitung, beides in CMOS-Technologie. Die Beschleunigungsmessung erfolgt über die Auslenkung eines mikromechanisch hergestellten schwingenden Masseplättchens mit federnder Fadenaufhängung (Tether). Die Änderungen der elektrischen Kapazität zwischen dem bei Beschleunigung ausgelenkten Plättchen und den zwei Bezugselektroden ermöglichen Messungen im Bereich des etwa 25fachen der Erdbeschleunigung (250 m/s2). Die Meßanordnung beinhaltet auch eine Selbsttestschaltung zur Kalibrierung. Das System Masse, Federkonstante und Dämpfung ist überdämpft ausgelegt. Die Ausgangsspannung des Sensors ist ratiometrisch proportional zur Beschleunigung und zur Versorgungsspannung. Die Anwendung dieses Sensors als Auslöser der Zündpillen von Airbag-Systemen im Kraftfahrzeug ist dargestellt.
Lebensretter aus Silizium. Mikromechanische Beschleunigungssensoren
Micromachined accelerometers
F + M, Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik ; 105 , 5 ; 329-331
1997
3 Seiten, 5 Bilder, 2 Quellen
Article (Journal)
German
Kapazitive mikromechanische Beschleunigungssensoren für Kfz
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