A tower lift apparatus having a rotatable joint rail module and a semiconductor device manufacturing system including the same are provided. The tower lift apparatus includes: a stage module installed on a plurality of floors; a carriage module that transports a container in which an article is stored; a first rail module for guiding the carriage module to the stage module of each floor; a second rail module installed to be spaced apart from the first rail module; and a joint rail module connected to the first rail module and the second rail module and guiding the carriage module from one of the first rail module and the second rail module to the other rail module.
회전 가능한 조인트 레일 모듈을 구비하는 타워 리프트 장치 및 이를 구비하는 반도체 소자 제조 시스템을 제공한다. 상기 타워 리프트 장치는, 복수의 층에 설치되는 스테이지 모듈; 물품이 수납된 용기를 반송하는 캐리지 모듈; 캐리지 모듈을 각 층의 스테이지 모듈로 가이드하는 제1 레일 모듈; 제1 레일 모듈과 이격되어 설치되는 제2 레일 모듈; 및 제1 레일 모듈과 제2 레일 모듈에 연결되며, 캐리지 모듈을 제1 레일 모듈 및 제2 레일 모듈 중 어느 하나의 레일 모듈에서 다른 하나의 레일 모듈로 가이드하는 조인트 레일 모듈을 포함하며, 조인트 레일 모듈은 회전한다.
Tower lift apparatus and semiconductor device manufacturing system including the same
타워 리프트 장치 및 이를 구비하는 반도체 소자 제조 시스템
2022-07-06
Patent
Electronic Resource
Korean
Tower lift and semiconductor transfer apparatus including same
European Patent Office | 2024
|tower lift and semiconductor transfer apparatus including the same
European Patent Office | 2024
|TOWER LIFT LOGISTICS SYSTEM INCLUDING SAME AND TRANSPORT METHOD USING SAME
European Patent Office | 2023
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