본 발명의 기술적 사상은 수직 방향으로 연장하는 프레임; 상기 프레임을 따라 움직이도록 구성된 캐리지; 상기 캐리지와 마주보는 상기 프레임의 제1 면에 설치되고, 제1 코일; 상기 프레임의 상기 제1 면에 설치되고, 상기 제1 코일과 이격되는 제2 코일; 상기 캐리지와 연결되고, 상기 제1 코일 및 상기 제2 코일 사이에 위치하는 제1 마그넷; 상기 캐리지와 연결되고, 상기 제1 마그넷 및 상기 제2 코일 사이에 위치하고, 상기 제1 마그넷과 이격된 제2 마그넷;을 포함하는 타워 리프트를 제공한다.
tower lift and semiconductor transfer apparatus including the same
타워 리프트 및 이를 포함하는 반도체 이송 장치
2024-07-03
Patent
Electronic Resource
Korean
Tower lift and semiconductor transfer apparatus including same
European Patent Office | 2024
|Tower lift apparatus and semiconductor device manufacturing system including the same
European Patent Office | 2022
|TOWER LIFT LOGISTICS SYSTEM INCLUDING SAME AND TRANSPORT METHOD USING SAME
European Patent Office | 2023
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