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    Title :

    Duennschicht Materialdaten fuer die Mikroelektronik


    Additional title:

    Thin layer material data for microelectronics.


    Contributors:

    Publication date :

    2004


    Size :

    9 pages


    Remarks:

    VDI-Ber.; 2004;Sensoren und Messysteme (Tag.Ludwigsburg, Maerz 2004);VDI-Berichte;Nr.;1829


    Type of media :

    Miscellaneous


    Type of material :

    Print


    Language :

    German



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