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    Titel :

    Duennschicht Materialdaten fuer die Mikroelektronik


    Weitere Titelangaben:

    Thin layer material data for microelectronics.


    Beteiligte:

    Erscheinungsdatum :

    2004


    Format / Umfang :

    9 pages


    Anmerkungen:

    VDI-Ber.; 2004;Sensoren und Messysteme (Tag.Ludwigsburg, Maerz 2004);VDI-Berichte;Nr.;1829


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch



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