Abschlußbericht des Teilprojektes "Antriebslösung in 4 Koordinaten für die Flip-Chip-Technologie zur Herstellung von neuartigen mikromechanischen Systemen für Identifikations- und Sensorsysteme"
2005
Förderkennzeichen BMBF 16SV1556
Article/Chapter (Book)
Electronic Resource
German
Vierachsiges Koordinaten-Messgeraet mit neuartigen Fuehrungen
Automotive engineering | 1980
|Online Contents | 2009