Forschungsverbundprojekt "Entwurf und Modellierung von Antriebssystemen für die Mikrosystemtechnik" MODAN - www.modan.org : Abschlußbericht des Teilprojektes "Antriebslösung in 4 Koordinaten für die Flip-Chip-Technologie zur Herstellung von neuartigen mikromechanischen Systemen für Identifikations- und Sensorsysteme" der INA - Drives & Mechatronics GmbH & Co. oHG
MODAN
2005
Online-Ressource (22 S., 3,37 MB)
Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 16SV1556. - Verbund-Nr. 01021897
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