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    Title :

    Forschungsverbundprojekt "Entwurf und Modellierung von Antriebssystemen für die Mikrosystemtechnik" MODAN - www.modan.org : Abschlußbericht des Teilprojektes "Antriebslösung in 4 Koordinaten für die Flip-Chip-Technologie zur Herstellung von neuartigen mikromechanischen Systemen für Identifikations- und Sensorsysteme" der INA - Drives & Mechatronics GmbH & Co. oHG


    Additional title:

    MODAN



    Publication date :

    2005


    Size :

    Online-Ressource (22 S., 3,37 MB)


    Remarks:

    Ill., graph. Darst.
    Förderkennzeichen BMBF 16SV1556. - Verbund-Nr. 01021897
    Unterschiede zwischen der gedruckten und der elektronischen Dokumentversion sind möglich
    Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek



    Type of media :

    Report


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    German



    Classification :

    BKL:    52.20 Antriebstechnik, Getriebelehre / 50.94 Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie






    Forschungsverbundprojekt "Entwurf und Modellierung von Antriebssystemen für die Mikrosystemtechnik" - MODAN - www.modan.org : Abschlussbericht des Teilprojektes "Modellierungsmethoden und -werkzeuge"

    Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Außenstelle für Automatisierung des Schaltkreis- und Systementwurfs | TIBKAT | 2005


    Forschungsverbundprojekt "Entwurf und Modellierung von Antriebssystemen für die Mikrosystemtechnik" - MODAN - www.modan.org : Abschlussbericht des Teilprojektes "Modellierungsmethoden und -werkzeuge"

    Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Außenstelle für Automatisierung des Schaltkreis- und Systementwurfs | TIBKAT | 2005

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