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    Title :

    Abschlußbericht des Teilprojektes "Antriebslösung in 4 Koordinaten für die Flip-Chip-Technologie zur Herstellung von neuartigen mikromechanischen Systemen für Identifikations- und Sensorsysteme"




    Publication date :

    2005


    Remarks:

    Förderkennzeichen BMBF 16SV1556


    Type of media :

    Article/Chapter (Book)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German



    Classification :

    BKL:    52.20 Antriebstechnik, Getriebelehre / 50.94 Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie