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    Title :

    Kontaminationsfreier und bruchtoleranter Transport von Siliziumscheiben durch eine Hochtemperaturzone : Abschlußbericht ; Akronym: KoTrans ; Laufzeit: 01.05.2000 - 31.05.2003


    Additional title:

    KoTrans



    Publication date :

    2003


    Size :

    30 S


    Remarks:

    Ill., graph. Darst
    Förderkennzeichen BMBF 0329861 C. - Verbund-Nr. 01017907
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
    Auch als elektronische Ressource vorh.
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    Type of media :

    Report


    Type of material :

    Print


    Language :

    German