Kontaminationsfreier und bruchtoleranter Transport von Siliziumscheiben durch eine Hochtemperaturzone : Abschlußbericht ; Akronym: KoTrans ; Laufzeit: 01.05.2000 - 31.05.2003
KoTrans
2003
30 S
Ill., graph. Darst
Förderkennzeichen BMBF 0329861 C. - Verbund-Nr. 01017907
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