Verbundprojekt "Kontaminationsfreier und bruchtoleranter Transport von Siliziumscheiben durch eine Hochtemperaturzone", Akronym: "KoTrans" : Abschlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens: 01.05.00 - 31.05.03
KoTrans
2003
31 S
Ill., graph. Darst
Förderkennzeichen BMBF 0329861B. - Verbund-Nr. 01017907
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