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    Titel :

    Kontaminationsfreier und bruchtoleranter Transport von Siliziumscheiben durch eine Hochtemperaturzone : Abschlußbericht ; Akronym: KoTrans ; Laufzeit: 01.05.2000 - 31.05.2003


    Weitere Titelangaben:

    KoTrans



    Erscheinungsdatum :

    2003


    Format / Umfang :

    30 S


    Anmerkungen:

    Ill., graph. Darst
    Förderkennzeichen BMBF 0329861 C. - Verbund-Nr. 01017907
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
    Auch als elektronische Ressource vorh.
    Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek


    Medientyp :

    Report


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch