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    Title :

    Beitrag zur Schichtabscheidung und Charakterisierung alternativer Isolatorschichten für die Mikroelektronik


    Contributors:
    Erben, Elke (author)

    Publication date :

    1990


    Size :

    94, 4 Bl


    Remarks:

    29 cm
    Ill., graph. Darst
    Karl-Marx-Stadt, Techn. Univ., Fak. f. Mathematik u. Naturwiss., Diss., 1990
    Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek


    Type of media :

    Book


    Type of material :

    Print


    Language :

    Unknown