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    Titel :

    Beitrag zur Schichtabscheidung und Charakterisierung alternativer Isolatorschichten für die Mikroelektronik


    Beteiligte:
    Erben, Elke (Autor:in)

    Erscheinungsdatum :

    1990


    Format / Umfang :

    94, 4 Bl


    Anmerkungen:

    29 cm
    Ill., graph. Darst
    Karl-Marx-Stadt, Techn. Univ., Fak. f. Mathematik u. Naturwiss., Diss., 1990
    Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek


    Medientyp :

    Buch


    Format :

    Print


    Sprache :

    Unbekannt