Beitrag zur Schichtabscheidung und Charakterisierung alternativer Isolatorschichten für die Mikroelektronik
1990
94, 4 Bl
29 cm
Ill., graph. Darst
Karl-Marx-Stadt, Techn. Univ., Fak. f. Mathematik u. Naturwiss., Diss., 1990
Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek
Buch
Unbekannt