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    Title :

    Modellbetrachtungen zur vakuumtechnischen Schichtabscheidung für die Lift-off-Technik


    Contributors:

    Publication date :

    1991


    Size :

    3, 96 Bl


    Remarks:

    30 cm
    Ill., graph. Darst
    Dresden, Techn. Univ., Diss., 1991
    Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek


    Type of media :

    Book


    Type of material :

    Print


    Language :

    Unknown



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