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    Titel :

    Modeling and modification of the parallel plate variable MEMS capacitors considering deformation issue


    Beteiligte:

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    2009



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Klassifikation :

    BKL:    52.20 Antriebstechnik, Getriebelehre / 50.32 Dynamik, Schwingungslehre / 50.25 Robotertechnik




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