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    Titel :

    Stiction issues and actuation of RF LIGA-MEMS variable capacitors


    Beteiligte:
    Haluzan, D. T. (Autor:in) / Klymyshyn, D. M. (Autor:in) / Börner, M. (Autor:in) / Achenbach, S. (Autor:in) / Wells, G. (Autor:in) / Mappes, T. (Autor:in) / Mohr, J. r. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 9-11 ; 1709-1714


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Design, test and qualification of stiction-free MEMS optical switches

    Su, G.-D.J. / Jiang, F. / Chiu, E. et al. | IEEE | 2003


    Design, test and qualification of stiction-free MEMS optical switches

    Su, G.-D. J. / Jiang, F. / Chiu, E. et al. | British Library Conference Proceedings | 2003


    Design of novel compact anti-stiction and low insertion loss RF MEMS switch

    Bansal, D. / Kumar, A. / Sharma, A. et al. | British Library Online Contents | 2014


    Variable valve actuation.

    Demmelbauer-Ebner,W. / Dachs,A. / Lenz,H.P. et al. | Kraftfahrwesen | 1991