Report discusses subsystems that will constitute fully-automated photolithography facility for IC's. Facility being developed at Marshall Space Flight Center will produce ultrareliable IC's with minimal human intervention.


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    Titel :

    An automated photolithography facility for IC's


    Beteiligte:
    Kennedy, B. W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.08.1980



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :



    Automated ion implantation for IC's

    Kennedy, B. W. | NTRS | 1980


    IC's intermodal cryo-storage

    British Library Online Contents | 1992


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    Griswold, T. W. / Bates, E. T., Jr. | NTRS | 1983


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