Report discusses automated ion-implantation facility under development at Marshall Space Flight Center. Facility will produce ultra-reliable IC's with minimal human intervention.


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    Titel :

    Automated ion implantation for IC's


    Beteiligte:
    Kennedy, B. W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1980-08-01



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :




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