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    Titel :

    Excimer laser machining of silicon nitride


    Weitere Titelangaben:

    Bearbeitung von Siliziumnitrid Keramik mit Excimer Laser.



    Erscheinungsdatum :

    1991


    Format / Umfang :

    8 pages


    Anmerkungen:

    4th Int.Symposium on Ceramic Materials and Components for Engines,Goeteborg 1991; 1992;Verl.:Elsevier


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



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    Excimer laser machining of advanced materials [2992-17]

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    IEEE | British Library Conference Proceedings | 1999


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