Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Surface micromachined accelerometer:a technology update


    Weitere Titelangaben:

    Surface Micromachined Beschleunigungsmesser:ein technologisches Update.



    Erscheinungsdatum :

    1991


    Format / Umfang :

    9 pages


    Anmerkungen:

    SAE-Paper;910496;1991;Sensors and Actuators 1991;SAE Proc.; P-242


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Surface Micromachined Accelerometer: A Technology Update

    Dinsmore, Kristin A. / Payne, Richard S. | SAE Technical Papers | 1991


    Fabrication technology for an integrated surface-micromachined sensor

    Core, T.A. / Tsang, W.K. / Sherman, S.J. | Tema Archiv | 1993


    Surface Micromachined Angular Rate Sensor

    Sparks, Douglas R. / Johnson, Jack D. / Zarabadi, Seyed R. | SAE Technical Papers | 1995


    Surface micromachined angular rate sensor

    Johnson,J.D. / Zarabadi,S.R. / Sparks,D.R. et al. | Kraftfahrwesen | 1995


    Surface Micromachined Angular Rate Sensor

    Johnson, J. D. / Zarabadi, S. R. / Sparks, D. R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995