Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Ultra-slim automotive acceleration sensor applied MEMS technology


    Weitere Titelangaben:

    Anwendung der MEMS Technologie auf die Fertigung eines ultra-duennen Beschleunigungssensors fuer Kraftwagen.


    Beteiligte:
    Isobe,Y. (Autor:in) / Fukada,T. (Autor:in) / Muto,H. (Autor:in) / Fujino,S. (Autor:in) / Denso,JP

    Erscheinungsdatum :

    2005


    Format / Umfang :

    6 pages


    Anmerkungen:

    SAE-Paper;2005-01-0463;2005;Automotive Electronics;SAE Spec.Publ.; SP-1980


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Ultra-Slim Automotive Acceleration Sensor Applied MEMS Technology

    Hiroshi, Muto / Fujino, Seiji / Fukada, Tsuyoshi et al. | SAE Technical Papers | 2005


    Super Slim Automotive Acceleration Sensor Applied MEMS Technology

    Isobe, Y. | British Library Conference Proceedings | 2006


    2005-01-0463 Ultra-Slim Automotive Acceleration Sensor Applied MEMS Technology

    Isobe, Y. / Fukada, T. / Muto, H. et al. | British Library Conference Proceedings | 2005



    Super Slim Automotive Acceleration Sensor Fabrication Process Developed by Applying Surface MEMS Technology

    Muto, Hiroshi / Sugiura, Kazuhiko / Asami, Kazushi et al. | SAE Technical Papers | 2006