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    Titel :

    Direct wafer bonding of amorphous or densified atomic layer deposited alumina thin films


    Beteiligte:
    Beche, E. (Autor:in) / Fournel, F. (Autor:in) / Larrey, V. (Autor:in) / Rieutord, F. (Autor:in) / Fillot, F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 21 , 5 ; 953-959


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2015


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Effects of Aging on Freshly Deposited or Densified Calcareous Sands

    Al-Sanad, Hasan / Ismael, Nabil | Transportation Research Record | 1996



    Effects of Aging on Freshly Deposited or Densified Calcareous Sands

    Al-Sanad, Hasan A. / Ismael, Nabil F. | Transportation Research Record | 1996


    Microstructure Evolution of Atomic Layer Deposited Zinc-Oxide Films

    Kotha, R. / Elam, D. / Hoy, J. et al. | British Library Conference Proceedings | 2010


    Direct bonding with on-wafer metal interconnections

    Jia, C. / Wiemer, M. / Gessner, T. | British Library Online Contents | 2006