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    Titel :

    Fabrication of nano-gap structures based on plastic deformation of strained Si springs by stiction effects


    Beteiligte:
    Toda, M. (Autor:in) / Yokoyama, A. (Autor:in) / Toan, N. (Autor:in) / Inomata, N. (Autor:in) / Ono, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 21 , 3 ; 649-654


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2015


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Fabrication of support structures to prevent SU-8 stiction in high aspect ratio structures

    Vora, K. D. / Peele, A. G. / Shew, B. Y. et al. | British Library Online Contents | 2007


    Experimental and Numerical Analysis on Coil Springs Preset Plastic Deformation

    Scuracchio, Bruno Geoffroy / Curitiba, Jose Roberto / Barbosa, Robinson Ferrari et al. | SAE Technical Papers | 2012


    Overcoming SU-8 stiction in high aspect ratio structures

    Peele, A. G. / Shew, B. Y. / Vora, K. D. et al. | British Library Online Contents | 2005


    Experimental and Numerical analysis on coil springs pre-set plastic deformation

    Barbosa, R.F. / Scuracchio, B.G. / Curitiba, J.R. et al. | British Library Conference Proceedings | 2012


    Carbon Fibre Reinforced Plastic Tape Springs

    Yee, J.C.H. / Soykasap, O. / Pellegrino, S. | AIAA | 2004