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    Titel :

    Fabrication of support structures to prevent SU-8 stiction in high aspect ratio structures


    Beteiligte:
    Vora, K. D. (Autor:in) / Peele, A. G. (Autor:in) / Shew, B. Y. (Autor:in) / Harvey, E. C. (Autor:in) / Hayes, J. P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 13 , 5-6 ; 487-493


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2007


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Overcoming SU-8 stiction in high aspect ratio structures

    Peele, A. G. / Shew, B. Y. / Vora, K. D. et al. | British Library Online Contents | 2005


    Fabrication of nano-gap structures based on plastic deformation of strained Si springs by stiction effects

    Toda, M. / Yokoyama, A. / Toan, N. et al. | British Library Online Contents | 2015


    Analysis of low-aspect-ratio aircraft structures

    Samson, Jr., C.H. / Bergmann, H. | Engineering Index Backfile | 1960


    Fabrication of high-aspect-ratio hydrogel microstructures

    Tirumala, V. R. / Divan, R. / Mancini, D. C. et al. | British Library Online Contents | 2005


    Eutectic bonding of Al-based high aspect ratio microscale structures

    Mei, F. / Jiang, J. / Meng, W. J. | British Library Online Contents | 2007