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    Titel :

    Overcoming SU-8 stiction in high aspect ratio structures


    Beteiligte:
    Peele, A. G. (Autor:in) / Shew, B. Y. (Autor:in) / Vora, K. D. (Autor:in) / Li, H. C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 11 , 2/3 ; 221-224


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Fabrication of support structures to prevent SU-8 stiction in high aspect ratio structures

    Vora, K. D. / Peele, A. G. / Shew, B. Y. et al. | British Library Online Contents | 2007


    High-aspect-ratio wings

    Peterson, John B., Jr. | NTRS | 1988


    High aspect ratio wings

    Bruner, G. | Engineering Index Backfile | 1950


    High-Aspect-Ratio Wings

    J. B. Peterson | NTIS | 1988


    Eutectic bonding of Al-based high aspect ratio microscale structures

    Mei, F. / Jiang, J. / Meng, W. J. | British Library Online Contents | 2007