Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Mechanical strengthening of Si cantilever by chemical KOH etching and its surface analysis by TEM and AFM


    Beteiligte:
    Shikida, M. (Autor:in) / Niimi, Y. (Autor:in) / Hasegawa, T. (Autor:in) / Sugino, T. (Autor:in) / Hamaoka, S. (Autor:in) / Fukuzawa, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 21 , 3 ; 661-668


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2015


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Mechanical strengthening of Si cantilevers by chemical wet etching

    Shikida, M. / Hasegawa, T. / Hamaguchi, K. et al. | British Library Online Contents | 2013


    Mechanical cantilever lifting mechanism

    CAI BAOMIN / YANG JINBAO / WEI YONG | Europäisches Patentamt | 2024

    Freier Zugriff

    Strengthening of Mechanical Engineering Parts Using Chemical-Thermocycling Treatment

    Berladir, Khrystyna / Hovorun, Tetiana / Pavlenko, Ivan et al. | TIBKAT | 2023


    Strengthening of Mechanical Engineering Parts Using Chemical-Thermocycling Treatment

    Berladir, Khrystyna / Hovorun, Tetiana / Pavlenko, Ivan et al. | Springer Verlag | 2023


    Influence of surface effect on mechanical properties of thermo-mechanical porous cantilever nanobeams

    LI Qinglu / ZHAO Xuanhe / ZHANG Jinghua et al. | DOAJ | 2024

    Freier Zugriff