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    Titel :

    Mechanical strengthening of Si cantilevers by chemical wet etching


    Beteiligte:
    Shikida, M. (Autor:in) / Hasegawa, T. (Autor:in) / Hamaguchi, K. (Autor:in) / Sato, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 19 , 4 ; 547-553


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Mechanical strengthening of Si cantilever by chemical KOH etching and its surface analysis by TEM and AFM

    Shikida, M. / Niimi, Y. / Hasegawa, T. et al. | British Library Online Contents | 2015


    Design of oscillating cantilevers

    Turner, B.T. | Engineering Index Backfile | 1947


    The Design of Oscillating Cantilevers

    Turner, B.T. | Emerald Group Publishing | 1947


    A boulevard supported on cantilevers

    Engineering Index Backfile | 1905


    Strengthening of Mechanical Engineering Parts Using Chemical-Thermocycling Treatment

    Berladir, Khrystyna / Hovorun, Tetiana / Pavlenko, Ivan et al. | TIBKAT | 2023