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    Titel :

    Resist evaluation for proton beam writing, Ni mold fabrication and nano-replication


    Beteiligte:
    Wang, Y. H. (Autor:in) / Malar, P. (Autor:in) / Kan, J. A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 10-11 ; 2079-2088


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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