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    Titel :

    Ni electroplating on a resist micro-machined by proton beam writing


    Beteiligte:
    Uchiya, N. (Autor:in) / Furuta, Y. (Autor:in) / Nishikawa, H. (Autor:in) / Watanabe, T. (Autor:in) / Haga, J. (Autor:in) / Satoh, T. (Autor:in) / Oikawa, M. (Autor:in) / Ishii, Y. (Autor:in) / Kamiya, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 9-11 ; 1537-1540


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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