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    Titel :

    Fabrication of a MEMS capacitive accelerometer with symmetrical double-sided serpentine beam-mass structure


    Beteiligte:
    Zhou, X. (Autor:in) / Che, L. (Autor:in) / Lin, Y. (Autor:in) / Li, X. (Autor:in) / Wu, J. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 7 ; 1365-1372


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Optimization of MEMS capacitive accelerometer

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