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    Titel :

    Testing of MEMS capacitive accelerometer structure through electro-static actuation


    Beteiligte:
    Kar, S. K. (Autor:in) / Swamy, K. B. (Autor:in) / Mukherjee, B. (Autor:in) / Sen, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    9 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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