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    Titel :

    A MEMS sandwich differential capacitive silicon-on-insulator accelerometer


    Beteiligte:
    Zhang, Y. (Autor:in) / Yang, G. (Autor:in) / Gao, C. (Autor:in) / Hao, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 19 , 8 ; 1249-1254


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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