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    Titel :

    Fabrication and characterization of PECVD silicon nitride for RF MEMS applications


    Beteiligte:
    Rahman, H. U. (Autor:in) / Johnson, B. C. (Autor:in) / Mccallum, J. C. (Autor:in) / Gauja, E. (Autor:in) / Ramer, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 19 , 1 ; 131-136


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Variable MEMS-Based Inductors Fabricated from PECVD Silicon Nitride

    Dell, J. M. / Winchester, K. / Musca, C. A. et al. | British Library Conference Proceedings | 2002


    Variable MEMS-based inductors fabricated from PECVD silicon nitride

    Dell, J.M. / Winchester, K. / Musca, C.A. et al. | IEEE | 2002


    Feature length-scale modeling of LPCVD and PECVD MEMS fabrication processes

    Musson, L. C. / Ho, P. / Plimpton, S. J. et al. | British Library Online Contents | 2005