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    Titel :

    Variable MEMS-Based Inductors Fabricated from PECVD Silicon Nitride


    Beteiligte:
    Dell, J. M. (Autor:in) / Winchester, K. (Autor:in) / Musca, C. A. (Autor:in) / Antoszewski, J. (Autor:in) / Faraone, L. (Autor:in) / Gal, M. / IEEE

    Kongress:

    Conference, Optoelectronic and microelectronic materials and devices; COMMAD 2002 ; 2002 ; Sydney, Australia



    Erscheinungsdatum :

    01.01.2002


    Format / Umfang :

    4 pages


    Anmerkungen:

    IEEE cat no 02EX601




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Variable MEMS-based inductors fabricated from PECVD silicon nitride

    Dell, J.M. / Winchester, K. / Musca, C.A. et al. | IEEE | 2002


    Fabrication and characterization of PECVD silicon nitride for RF MEMS applications

    Rahman, H. U. / Johnson, B. C. / Mccallum, J. C. et al. | British Library Online Contents | 2013



    Codoped silica-on-silicon waveguides fabricated by PECVD technique [2954-16]

    Fiorello, A. M. / Giannetta, E. / Valentino, M. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996