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    Titel :

    VM-TEST: Mechanical property measurement using electrostatically actuated vertical MEMS test structures fabricated in thick metal layers


    Beteiligte:
    Haluzan, D. T. (Autor:in) / Klymyshyn, D. M. (Autor:in) / Achenbach, S. (Autor:in) / Börner, M. (Autor:in) / Mohr, J. r. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 18 , 4 ; 443-452


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2012


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    A High Speed Electrostatically Actuated Al-MEMS Micromirror Array

    Mathias, A. / Fox, J. / Temmen, M. et al. | British Library Conference Proceedings | 2011


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    Royer, Fabien / Zhang, John Z. / Overby, Kaleb D. et al. | TIBKAT | 2023


    A High Speed Electrostatically Actuated Al-MEMS Micromirror Array

    Mathias, Adam / Fox, Jon / Temmen, Mark et al. | AIAA | 2011


    Electrostatically Actuated Thin-Shell Space Structures

    Royer, Fabien / Zhang, John Z. / Overby, Kaleb et al. | AIAA | 2023


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    Faris, Waleed / Abdel-Rahman, Eihab / Nayfeh, Ali | AIAA | 2002