Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Mechanical testing of micro samples produced by a novel LIGA related process chain


    Beteiligte:
    Prokop, J. (Autor:in) / Eberl, C. (Autor:in) / Funk, M. (Autor:in) / Prüfe, P. (Autor:in) / Lorenz, J. (Autor:in) / Piotter, V. (Autor:in) / Welz, M. (Autor:in) / Ritzhaupt-Kleissl, H. J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 17 , 2 ; 281-288


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2011


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Micro-Structures of TiC/Ti~5Si~3 composite produced by powder metallurgy and LIGA process

    Miyano, N. / Iwasa, H. / Matsumoto, M. et al. | British Library Online Contents | 2005


    High aspect ratio electrostatic micro actuators using LIGA process

    Kondo, R. / Takimoto, S. / Suzuki, K. et al. | British Library Online Contents | 2000


    High-aspect-ratio WC-Co microstructure produced by the combination of LIGA and micro-EDM

    Takahata, K. / Shibaike, N. / Guckel, H. | British Library Online Contents | 2000



    Photoresist application for the LIGA process

    Chaudhuri, B. / Guckel, H. / Klein, J. et al. | British Library Online Contents | 1998